国内常见的真空法兰规格有KF、CF、ISO。KF法兰(Quick Flange)也称为NW法兰（日本标准，一般在日本设备上使用），适用于1.33x10-6 Pa以下的真空度，适用温度为150°C (Viton氟橡胶O型圈) / 80°C (NBR丁腈橡胶O型圈)，KF法兰用卡箍来实现快速装卸，不需要使用别的工具，只需用手即可；NW卡箍使用链式卡箍，NW50以下的可以与KF通用。
KF真空接头是小尺寸的快装法兰接头，公称直径尺寸包括：DN 10、16、25、40、50。
制造标准包括：DIN 28403，ISO 2861。
适用的真空度最高达10-8 mbar（10-10Pa）。
法兰密封材料通常为丁腈橡胶 氟橡胶等。
法兰通常为304、316L不锈钢等。
KF 真空接头通常由法兰(flang)、快夹(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成。
KF适用真空标准
GB/T 4982-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分：夹紧型
GB/T 4983-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第2部分：拧紧型
CF法兰(Conflat Flange)，适用于1x10-11 Pa以下的真空度，垫片使用无氧铜或Viton氟橡胶，适用温度200~450℃；
它是一种用于超高真空中的法兰连接，是-种金属静密封, 可以承受高温烘烤。
常用法兰类型有：内焊法兰 松套法兰 盲板法兰等
公称直径尺寸包括: DN16, 40, 63, 100, 160, 200, 250.
适用的真空度最高达10-12 mbar.
法兰密封材料通常为Viton、PTFE、 无氧铜等。
法兰通常为304、316L不锈钢等。
CF法兰适用真空标准
GB/T 6070-2007 真空技术 法兰尺寸
GB/T 6071-2003 超高真空法兰
ISO法兰(ISO Flanges)，适用于1.33x10-6 Pa以下的真空度，适用温度-150°C (Viton氟橡胶O型圈) / 80°C (NBR丁腈橡胶O型圈)，使用卡箍来实现快速装卸；与KF法兰不同的是紧固方式不同。ISO法兰又分ISO-K和ISO-F两种，ISO-K是用卡钩联接的，ISO-F是打通孔用螺纹联接。
ISO法兰
ISO法兰和配管可用于从大气压到高真空，经常装拆的各种应用中。一般管子的直径超过50mm(2英寸)。如果使用氟橡胶O形圈，可以承受150℃烘烤。
ISO法兰常用的两种形式是ISO-K和ISO-F。
ISO-K和ISO-F真空接头是大尺寸的真空接头，公称直径尺寸包括：DN 63、100、160、 200、250、320、 400、500和630。
制造标准包括：DIN 28404、ISO 1609
可应用在要求真空度高达10-8 mbar的场合。
法兰密封材料通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝丝等。
法兰通常为304、316不锈钢等。
a、ISO-K真空接头通常由法兰(flang)、法兰爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，
b、ISO-F真空接头通常由法兰(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，与ISO-K不同的地方是法兰用螺栓坚固。
ISO法兰适用真空标准
JB/T 1090-1991 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸
JB/T 109l-1991 JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸
JB/T 1092-1991 O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸
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